[发明专利]按压力传感器有效
| 申请号： | 201380020400.2 | 申请日： | 2013-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN104246460B | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 河村秀树;安藤正道 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;H01L41/08;H01L41/193 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 舒艳君,李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种按压力传感器。按压力传感器(10)具备平膜型压电元件(20)以及支承体(30)。平膜型压电元件(20C)具备具有d14压电常数的压电性薄板(210)。在该压电性薄板(210)的第一主面形成有矩形的第一电极(220)，在第二主面形成有矩形的第二电极(230)。第一电极(220)以及第二电极(230)的长边方向和压电性薄板(210)的单轴延伸方向成45°的角度。在支承体(30)的主体(310)形成有剖面为长圆形的开口部(320)。平膜型压电元件(20)的第二主面侧与支承体(30)的开口部(320)开口的第三主面抵接。支承体(30)和平膜型压电元件(20)被配置成从与第三主面正交的方向观察，在第二电极(230)的范围内包括开口部(320)。 | ||
| 搜索关键词： | 按压 传感器 | ||
【主权项】：
一种按压力传感器，具备：平膜型压电元件，具备具有对置的第一主面以及第二主面的平膜的压电性薄板、形成于所述第一主面的第一电极以及形成于所述第二主面的第二电极；以及支承体，具备抵接于所述平膜型压电元件的所述第二主面侧的第三主面，所述支承体在所述第三主面侧具备允许所述第二电极的至少一部分的变形的空间部，以通过外力在遍及该空间部的压电性薄板中产生的变形在所述第三主面的正交的两方向上不同的方式配置有所述平膜型压电元件和所述支承体，所述压电性薄板具有d14的压电常数，且沿与所述正交的两方向不同的至少单轴方向延伸。
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