[发明专利]按压力传感器

权利要求书

1.一种按压力传感器，具备：

平膜型压电元件，具备具有对置的第一主面以及第二主面的平膜的压电性薄板、形成于所述第一主面的第一电极以及形成于所述第二主面的第二电极；以及

支承体，具备抵接于所述平膜型压电元件的所述第二主面侧的第三主面，

所述支承体在所述第三主面侧具备允许所述第二电极的至少一部分的变形的空间部，

以通过外力在遍及该空间部的压电性薄板中产生的变形在所述第三主面的正交的两方向上不同的方式配置有所述平膜型压电元件和所述支承体，

所述压电性薄板具有d14的压电常数，且沿与所述正交的两方向不同的至少单轴方向延伸。

2.根据权利要求1所述的按压力传感器，

所述支承体的从第三主面观察的所述空间部的俯视形状为长度在所述正交的两方向上不同的形状。

3.根据权利要求1或者2所述的按压力传感器，

所述压电性薄板包含聚乳酸。

4.根据权利要求3所述的按压力传感器，

所述压电性薄板沿单轴延伸的方向与所述正交的两方向成45°。

5.根据权利要求1或者2所述的按压力传感器，

所述平膜型压电元件仅固定于所述支承体的所述空间部的长边方向的两端。

6.根据权利要求1或者2所述的按压力传感器，其特征在于，

所述空间部是从所述支承体的所述第三主面侧起具有规定深度的凹部。

7.根据权利要求6所述的按压力传感器，其特征在于，

在所述凹部内配置有弹性体。

8.根据权利要求1或者2所述的按压力传感器，

所述空间部在所述支承体的所述第三主面以外的面开口。

9.根据权利要求1或者2所述的按压力传感器，

所述第一电极、所述第二电极以及所述空间部的组为多个。

10.根据权利要求1或者2所述的按压力传感器，

在所述压电性薄板的所述第一主面侧具备保护层。

11.根据权利要求1或者2所述的按压力传感器，

在所述压电性薄板的所述第一主面侧具备压入所述压电性薄板的与所述空间部对置的范围的压入构件。