[发明专利]用于转移层的方法

摘要

本发明的方法包括如下步骤提供支撑衬底(2)和供体衬底(3)，在所述供体衬底(3)中形成脆性区域(4)，以便在所述脆性区域(4)的任一侧上划分出所述供体衬底(3)的第一部分(30)和第二部分(31)，在所述支撑衬底(2)上组装所述供体衬底(3)，使所述供体衬底(3)沿着所述脆性区域(4)断裂，并且其特征在于所述方法包括如下步骤在所述供体衬底(3)中形成压应力层(5)，从而划分出插置于所述压应力层(5)和所述脆性区域(4)之间的所谓的约束区域(50)。

主权项

一种用于转移层的方法，包括如下步骤：a)提供支撑衬底(2)，b)提供供体衬底(3)，c)在所述供体衬底(3)中形成脆性区域(4)，以便在所述脆性区域(4)的两侧上分别划分出所述供体衬底(3)的第一部分(30)和第二部分(31)，所述供体衬底(3)的所述第一部分(30)要被添加到所述支撑衬底(2)上，d)在所述支撑衬底(2)上组装所述供体衬底(3)，e)通过热处理，使所述供体衬底(3)沿着所述脆性区域(4)断裂，所述方法的特征在于包括步骤c1)：在所述步骤c)之后，在所述供体衬底(3)中形成压应力层(5)，以便划分出插置于所述压应力层(5)和所述脆性区域(4)之间的约束区域(50)，并且在于：在所述步骤c1)期间在所述供体衬底(3)的所述第一部分(30)中形成所述压应力层(5)，以便在所述压应力层(5)的两侧上分别划分出所述约束区域(50)和活性区域(1)，所述活性区域(1)形成将在步骤e)之后被转移的所述层。