[实用新型]安全互锁装置有效
| 申请号： | 201320891245.9 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN203705916U | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 谢伟;陈威;岳丰 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于半导体生产机台与硅片盒搬送机之间的安全互锁装置，包括：包括：接近开关，其受接近开关传感器信号控制断开或闭合，输出通断信号到继电器的控制端；继电器的公共端连接机台端的报警信号，继电器的第一输出端连接生产机台运行控制端，继电器的第二输出端连接通断开关。本实用新型在压块接近时接近开关传感器接近开关导通，根据接近开关的通断信号利用继电器控制半导体生产机台停止工作及片盒搬送机停止工作，以避免发生机台与硅片盒搬送机碰撞情况。 | ||
| 搜索关键词： | 安全 互锁 装置 | ||
【主权项】：
一种用于半导体生产机台与硅片盒搬送机之间的安全互锁装置，其特征是，包括：接近开关，其受接近开关传感器信号控制断开或闭合，输出通断信号到继电器的控制端；继电器的公共端连接机台端的报警信号，继电器的第一输出端连接生产机台运行控制端，继电器的第二输出端连接通断开关。
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