[实用新型]一种针对气体质量流量计内部的清洗装置有效
申请号: | 201320889826.9 | 申请日: | 2013-12-31 |
公开(公告)号: | CN203642980U | 公开(公告)日: | 2014-06-11 |
发明(设计)人: | 杨宇;蒋兴东;赵迪 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
主分类号: | G01F15/12 | 分类号: | G01F15/12 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 吴世华;陶金龙 |
地址: | 100016 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种针对气体质量流量计内部的清洗装置,包括清洗气源、连通清洗气源的清洗管路,其特征在于,所述清洗管路中设有清洗接口和控制接口;其中,所述清洗接口之间在清洗状态时连通被清洗的气体质量流量计,所述控制接口之间连通一气体质量流量控制器,所述清洗管路的尾端连通清洗气体回收装置;所述气体质量流量控制器电连接计算机。此离线式设计的清洗装置,可实行批量清洗,提高清洗效率;通过计算机控制气体质量流量控制器实现清洗自动控制,使清洗质量得到有效保障,并大为节约清洗气体的使用量。 | ||
搜索关键词: | 一种 针对 气体 质量 流量计 内部 清洗 装置 | ||
【主权项】:
一种针对气体质量流量计内部的清洗装置,包括清洗气源、连通清洗气源的清洗管路,其特征在于,所述清洗管路中设有清洗接口和控制接口;其中,所述清洗接口之间在清洗状态时连通被清洗的气体质量流量计,所述控制接口之间连通一气体质量流量控制器,所述清洗管路的尾端连通清洗气体回收装置;所述气体质量流量控制器电连接计算机。
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