[实用新型]湿法刻蚀绝缘清洗机抽风装置

摘要

本实用新型涉及一种湿法刻蚀绝缘清洗机抽风装置。其技术方案是：由主盖板、左侧盖板和右侧盖板连接组成，所述的主盖板下方有四道吸风槽，吸风槽向槽体内部探入12.5CM，比液面高，每个吸风槽的两侧各有15个抽风孔，所述吸风槽顶部五条间隔空间；所述的左侧盖板上设有多组通风小孔，通风小孔上侧设有PVDF板焊接罩住；所述的右侧盖板下侧有探入式吸风槽，内有多个抽风洞，对向两侧逸散的气体进行抽取。有益效果是：合理的优化了设备的抽风、排风系统，有效的优化了因抽风、吸风不良引起的过刻、刻不通、边缘泛液等现象。极大地提高了设备的生产效率和生产质量。对于硅片的外观提高有了显著的作用。

主权项

一种湿法刻蚀绝缘清洗机抽风装置，其特征是：由主盖板（1）、左侧盖板（5）和右侧盖板（7）连接组成，所述的主盖板（1）下方有四道吸风槽（2），吸风槽向槽体内部探入12.5CM，比液面高，每个吸风槽（2）的两侧各有15个抽风孔（3），所述吸风槽（2）顶部五条间隔空间（10）；所述的左侧盖板（5）上设有多组通风小孔（6），通风小孔（6）上侧设有PVDF板焊接罩住；所述的右侧盖板（7）下侧有探入式吸风槽（8），内有多个抽风洞（9），对向两侧逸散的气体进行抽取。