[实用新型]湿法刻蚀绝缘清洗机抽风装置有效
申请号: | 201320885584.6 | 申请日: | 2013-12-31 |
公开(公告)号: | CN203750972U | 公开(公告)日: | 2014-08-06 |
发明(设计)人: | 杨洪军;宋道新;万福旺;张振兴 | 申请(专利权)人: | 山东天信光伏新能源有限公司 |
主分类号: | B08B15/04 | 分类号: | B08B15/04;H01L31/18 |
代理公司: | 东营双桥专利代理有限责任公司 37107 | 代理人: | 罗文远 |
地址: | 257091 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 湿法 刻蚀 绝缘 清洗 抽风 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种湿法刻蚀绝缘清洗机,特别涉及一种湿法刻蚀绝缘清洗机抽风装置。
背景技术
随着行业的发展,光伏的技术也在逐步的完善,对于质量和外观的要求也在日益严格。对于组件而言,外观要求占到了一部分相当重要的比重。我们公司也要适应市场要求。对于外观严格把关。力求精益求精。
在使用的湿法刻蚀绝缘清洗机的生产过程中,由于3#槽的抽风问题,很容易造成过刻、刻不透、边缘泛液等现象,使硅片的质量和外观受到不同程度的影响。
发明内容
本实用新型的目的就是针对现有技术存在的上述缺陷,提供一种湿法刻蚀绝缘清洗机抽风装置,使抽风系统更加合理,槽体内风向流动更加规范。
其技术方案是:由主盖板、左侧盖板和右侧盖板连接组成,所述的主盖板下方有四道吸风槽,吸风槽向槽体内部探入12.5CM,比液面高,每个吸风槽的两侧各有15个抽风孔,所述吸风槽顶部五条间隔空间;所述的左侧盖板上设有多组通风小孔,通风小孔上侧设有PVDF板焊接罩住;
所述的右侧盖板下侧有探入式吸风槽,内有多个抽风洞,对向两侧逸散的气体进行抽取。
上述的探入式吸风槽的形状为梯形结构。
本实用新型的有益效果是:合理的优化了设备的抽风、排风系统,有效的优化了因抽风、吸风不良引起的过刻、刻不通、边缘泛液等现象。极大地提高了设备的生产效率和生产质量。对于硅片的外观提高有了显著的作用。
附图说明
附图1是本实用新型的结构示意图;
上图中:主盖板1、吸风槽2、抽风孔3、槽体排风罩4、左侧盖板5、通风小孔6、右侧盖板7、探入式吸风槽8、抽风洞9、间隔空间10。
具体实施方式
结合附图1,对本实用新型作进一步的描述:
本实用新型由主盖板1、左侧盖板5和右侧盖板7连接组成,所述的主盖板1下方有四道吸风槽2,吸风槽向槽体内部探入12.5CM,比液面高,每个吸风槽2的两侧各有15个抽风孔3,所述吸风槽2顶部五条间隔空间10;所述的左侧盖板5上设有多组通风小孔6,通风小孔6上侧设有PVDF板焊接罩住;
所述的右侧盖板7下侧有探入式吸风槽8,内有多个抽风洞9,对向两侧逸散的气体进行抽取。
上述的探入式吸风槽8的形状为梯形结构,上述多方面的改造,使抽风系统更加合理,槽体内风向流动更加规范。
对于湿法刻蚀绝缘清洗机3#槽的改造,优化了设备系统的抽风能力,对于由抽风系统而引起的过刻、刻不通、边缘泛液等现象,合理的避免上述问题,能最大化的优化了设备的性能。
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