[实用新型]X荧光测厚仪的电动样品台

摘要

本实用新型公开一种X荧光测厚仪的电动样品台，包括XY轴定位组件、Z轴定位组件、样品台板和底板，Z轴定位组件安装在底板上，XY轴定位组件顶部安装有样品台板，还包括控制器，Z轴定位组件包括Z轴立板、Z轴线性滑轨、滑板导向滑块、Z轴伺服丝杠、Z轴伺服电机、Z轴滑板组件、Z轴轴承座、Z轴开关连接导轨、两个Z轴光电开关、Z轴限位感应片，滑板导向滑块与Z轴线性滑轨滑动连接，Z轴滑板组件靠近Z轴开关连接导轨的一侧设有Z轴限位感应片，Z轴滑板组件顶部设有XY轴定位组件，XY轴定位组件顶部设有样品台板。可三轴联动调节被测物品与X射线管之间的距离，结构合理紧凑，稳定性强，采用光电感应定位，控制精度高，定位精准。

主权项

X荧光测厚仪的电动样品台，包括XY轴定位组件、Z轴定位组件、样品台板和底板，Z轴定位组件安装在底板上，XY轴定位组件顶部安装有样品台板，其特征在于，还包括控制器，所述Z轴定位组件包括Z轴立板、两块Z轴线性滑轨、两块滑板导向滑块、Z轴伺服丝杠、Z轴伺服电机、Z轴滑板组件、Z轴轴承座、Z轴开关连接导轨、两个Z轴光电开关、Z轴限位感应片，Z轴立板设于底板上，Z轴立板中部对称垂直设置有两块Z轴线性滑轨，Z轴立板一侧设有Z轴开关连接导轨，Z轴立板前方设有立有Z轴伺服丝杠，Z轴立板后方设有Z轴伺服电机，所述Z轴开关连接导轨的上部和下部分别设有一个Z轴光电开关，所述Z轴轴承座固定在底板上，所述Z轴伺服丝杠与Z轴轴承座之间通过轴承连接，Z轴伺服丝杠底端通过齿轮和同步带与伺服电机连接，Z轴伺服丝杠中部与Z轴滑板组件滑动连接，Z轴滑板组件后侧与两块Z轴线性滑轨相对应的位置分别设置有滑板导向滑块，滑板导向滑块与Z轴线性滑轨滑动连接，Z轴滑板组件靠近Z轴开关连接导轨的一侧设有Z轴限位感应片，Z轴滑板组件顶部设有XY轴定位组件，XY轴定位组件顶部设有样品台板。