[实用新型]电感耦合等离子体功率线圈的制作装置有效
| 申请号： | 201320839155.5 | 申请日： | 2013-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN203631473U | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 罗剑秋;赵英飞;任立志;唐振山;董海洋 | 申请（专利权）人： | 钢研纳克检测技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/00 | 分类号： | H01J9/00;H01F41/04 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩芳;刘奕晴 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种电感耦合等离子体（ICP）功率线圈的制作装置，所述制作装置包括：螺纹模块，包括圆柱体部和结合部，圆柱体部的外表面上形成有螺纹槽，以用于形成电感耦合等离子体功率线圈的主体部；矩形模块，包括分别形成在矩形模块的上表面和下表面上的凹槽和形成在矩形模块的侧表面上的结合槽，凹槽用于形成电感耦合等离子体功率线圈的端部，其中，当结合部插入到结合槽中时，螺纹模块与矩形模块相对固定。根据本实用新型的实施例的ICP功率线圈的制作装置，制作出来的ICP功率线圈参数一致性好，保证了仪器更换新的功率线圈后负载一致性好，匹配参数基本保持一致，完全可以免除工程师重新校准参数的工作，省时省力。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 等离子体 功率 线圈 制作 装置 | ||
【主权项】：
一种电感耦合等离子体功率线圈的制作装置，其特征在于，所述制作装置包括：螺纹模块，包括圆柱体部和结合部，所述圆柱体部的外表面上形成有螺纹槽，以用于形成电感耦合等离子体功率线圈的主体部；矩形模块，包括分别形成在矩形模块的上表面和下表面上的凹槽和形成在矩形模块的侧表面上的结合槽，所述凹槽用于形成电感耦合等离子体功率线圈的端部，其中，当所述结合部插入到结合槽中时，所述螺纹模块与所述矩形模块相对固定。
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