[实用新型]一种可调式装片装置

摘要

本实用新型公开了一种可调式装片装置，包括：一固定组件和一调节组件，调节组件安装在固定组件上，通过调节调节组件的位置安装不同规格的基片。与现有技术相比，该装片装置稳固安装基片，操作方便，依据基片的大小，灵活变化安装的宽度与高度，适用于安装各种不同规格的基片，装置的横截面积小，在真空镀膜生产线中占用镀膜腔室空间小，结构简单，用材少，节约资源，便于大规模生产，因此其应用前景十分广阔。

主权项

一种可调式装片装置，其特征在于，包括：一固定组件和一调节组件，调节组件安装在固定组件上，通过调节调节组件的位置安装不同规格的基片； 所述固定组件包括第一支撑杆、第二支撑杆、第一挡板和第二挡板，所述第一支撑杆、第一挡板、第二支撑杆和第二挡板两两连接形成一方形框架，所述第一支撑杆和所述第二支撑杆上分别设有至少两个导槽区域；所述调节组件包括至少两个调节梁和至少一组定位件，所述定位件可拆卸安装在所述调节梁上，所述调节梁安装在第一支撑杆和第二支撑杆的导槽区域上； 所述导槽区域进一步包括一导槽和一安置区，所述导槽设置在安置区内，所述导槽呈竖直方向； 所述固定组件的第一支撑杆和第二支撑杆上进一步分别设有中心安置区域，所述中心导位区域设置在第一支撑杆和第二支撑杆中心； 所述调节梁安装在第一支撑杆和第二支撑杆的导槽区域和/或中心安置区域，所述调节梁包括一第一端部、一第二端部和一横梁，所述横梁的两端连接第一端部和第二端部，所述第一端部和所述第二端部的厚度小于所述横梁的厚度，所述第一端部和所述第二端部的厚度与所述安置区的深度一致，所述第一端部和所述第二端部的厚度一致； 所述定位件包括一第一定位元件和一第二定位元件，所述第一定位元件拆卸安装在一调节梁上，所述第二定位元件可拆卸安装在另一调节梁上，所述第一定位元件的安装位置高于所述第二定位元件的位置。