[实用新型]一种电解槽有效
| 申请号： | 201320823997.1 | 申请日： | 2013-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN203668539U | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 何*;杨小军 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D5/04 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种电解槽，所述电解槽至少包括：用于盛放电解液的电解容器和提供镀层金属的移动阳极；所述移动阳极包括设置于所述电解液中的金属阳极和用于推动所述金属阳极的升降部件；所述升降部件的一端与所述金属阳极物理接触、另一端露于电解容器外。本实用新型提供的电解槽，将阳极设计成移动阳极，即在电解槽上加装升降部件，推动变薄的金属阳极抬升，使金属阳极和待镀晶片之间的距离基本保持不变，解决了现有技术中因金属阳极变薄导致电解中止的问题，且本实用新型的升降部件结构简单，使用方便，适用于工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电解槽 | ||
【主权项】：
一种电解槽，其特征在于，所述电解槽至少包括：用于盛放电解液的电解容器和提供镀层金属的移动阳极；所述移动阳极包括设置于所述电解液中的金属阳极和用于推动所述金属阳极的升降部件；所述升降部件的一端与所述金属阳极物理接触、另一端露于电解容器外。
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