[实用新型]一种电解槽有效
| 申请号： | 201320823997.1 | 申请日： | 2013-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN203668539U | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 何*;杨小军 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D5/04 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电解槽 | ||
1.一种电解槽，其特征在于，所述电解槽至少包括：用于盛放电解液的电解容器和提供镀层金属的移动阳极；所述移动阳极包括设置于所述电解液中的金属阳极和用于推动所述金属阳极的升降部件；所述升降部件的一端与所述金属阳极物理接触、另一端露于电解容器外。
2.根据权利要求1所述的电解槽，其特征在于：所述电解槽还包括用于防止电解液渗漏的密封圈，所述密封圈套于升降部件上并紧贴电解容器的内壁。
3.根据权利要求2所述的电解槽，其特征在于：所述电解槽还包括压于密封圈上且用于固定密封圈的固定部件。
4.根据权利要求1所述的电解槽，其特征在于：所述升降部件为至少三个螺栓，该螺栓的螺帽露于电解容器外、螺栓的螺杆穿透电解容器的底部并与金属阳极的底面物理接触。
5.根据权利要求1所述的电解槽，其特征在于：所述升降部件为设置在电解容器底部中心的圆柱部件，该圆柱部件的直径为80～150mm。
6.根据权利要求1所述的电解槽，其特征在于：所述升降部件的长度大于金属阳极的厚度。
7.根据权利要求4～6任一项所述的电解槽，其特征在于：所述升降部件为钛材料。
8.根据权利要求1所述的电解槽，其特征在于：所述电解槽还包括用于固定待镀晶片的接触环。
9.根据权利要求8所述的电解槽，其特征在于：所述待镀晶片的直径为200～450mm。
10.根据权利要求1所述的电解槽，其特征在于：所述电解液为硫酸铜溶液。
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