[实用新型]一种柔性衬底卷对卷镀膜退火装置

摘要

本实用新型涉及一种柔性衬底卷对卷镀膜退火装置，包括用挡板真空腔室分割的送卷室、第一溅射室、第二溅射室和收卷室；送卷室内有放卷辊、张力辊和导向辊，收卷室内有收卷辊、张力辊和导向辊，其特点是：所述第二溅射室和收卷室之间用挡板还分割有退火室，退火室中有加热背板；每一挡板上均置有通过柔性衬底的气体隔离器。本实用新型通过在第二溅射室和收卷室之间用挡板分割出一退火室，当柔性衬底进行卷对卷连续镀膜的同时，也完成了镀膜后柔性衬底的退火处理，并且柔性衬底在退火时为单片退火，相对于整卷柔性衬底退火，不仅提高了薄膜电池制作的材料性能，而且大大提高了生产效率，并且制作过程简单，生产维护成本低。

主权项

一种柔性衬底卷对卷镀膜退火装置，包括真空腔室，所述真空腔室被挡板自左至右依次分割有送卷室、放置第一溅射靶的第一溅射室、放置第二溅射靶的第二溅射室和收卷室；所述送卷室和收卷室内各放置有带动柔性衬底移动的滚轴，送卷室内的滚轴包括放卷辊、张力辊和导向辊，收卷室内的滚轴包括收卷辊、张力辊和导向辊，其特征在于：所述第二溅射室和收卷室之间用挡板还分割有退火室，退火室中有加热背板；每一挡板上均置有通过柔性衬底的气体隔离器。