[实用新型]射频等离子体裂解Se蒸气装置

摘要

本实用新型涉及一种射频等离子体裂解Se蒸气装置，包括经Se输入管路通向裂解反应壳体的Se原料罐；裂解反应壳体顶部通有裂解Se源喷嘴，其特点是：裂解反应壳体还有通入Ar气的Ar气管；裂解反应壳体内有垂直方向相互平行的底电极板和顶电极板，顶电极板和裂解反应壳体之间连接有RC振荡电路。本实用新型采用RC振荡电路产生频率射频电场，在射频电场中通入Ar气，Ar气在射频电场的作用下形成等离子体；无需高温加热，可将n≥5大原子团硒蒸气撞击裂解为n＜5小原子团硒蒸气，不仅有效提高了硒蒸气的化学活性，提高了硒原料的利用率，避免了高温环境下硒蒸气对裂解装置的腐蚀，延长了裂解硒源装置的使用寿命长。

主权项

射频等离子体裂解Se蒸气装置，包括放置Se源裂解区域的裂解反应壳体，裂解反应壳体底部置有经Se输入管路通向裂解反应壳体的Se原料罐，Se输入管路上置有Se管路阀门；裂解反应壳体顶部通有裂解Se源喷嘴，其特征在于：所述裂解反应壳体底部还置有通入Ar气的Ar气管；所述裂解反应壳体内置有垂直方向相互平行的底电极板和顶电极板，所述顶电极板和裂解反应壳体之间连接有置于电路屏蔽壳体内的RC振荡电路。