[实用新型]射频等离子体裂解Se蒸气装置有效
| 申请号： | 201320813498.4 | 申请日： | 2013-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN203639544U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 王赫;乔在祥;赵彦民;赵岳;申绪男;杨亦桐 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十八研究所 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28 |
| 代理公司： | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 | 代理人： | 李凤 |
| 地址： | 300384 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 射频 等离子体 裂解 se 蒸气 装置 | ||
【权利要求书】：
1.射频等离子体裂解Se蒸气装置，包括放置Se源裂解区域的裂解反应壳体，裂解反应壳体底部置有经Se输入管路通向裂解反应壳体的Se原料罐，Se输入管路上置有Se管路阀门；裂解反应壳体顶部通有裂解Se源喷嘴，其特征在于：所述裂解反应壳体底部还置有通入Ar气的Ar气管；所述裂解反应壳体内置有垂直方向相互平行的底电极板和顶电极板，所述顶电极板和裂解反应壳体之间连接有置于电路屏蔽壳体内的RC振荡电路。
2.根据权利要求1所述的射频等离子体裂解Se蒸气装置，其特征在于：所述RC振荡电路包括C1可调电容器、电阻和射频电源并联后，一端与电感和C2可调电容器串联后连接到裂解反应壳体中的顶电极板上；另一端连接到裂解反应壳体上并接地。
3.根据权利要求1所述的射频等离子体裂解Se蒸气装置，其特征在于：所述Se输入管路外周包有加热丝。
4.根据权利要求1所述的射频等离子体裂解Se蒸气装置，其特征在于：所述Ar气管上置有Ar管路阀门。
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