[实用新型]一种多晶硅废气处理装置有效
| 申请号： | 201320813175.5 | 申请日： | 2013-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN203598683U | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 胡瀛 | 申请（专利权）人： | 胡瀛 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78;B01D53/40 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 史霞 |
| 地址： | 621000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅废气处理装置，其特征在于，包括：用于存储废气反应液体的溶液池；喷淋塔，其架设在所述溶液池上方，所述喷淋塔内部中空，底部与所述溶液池内的反应液体连通，顶部开设有抽气口和可穿过第一管道的开口；第一管道，其一端连通至所述溶液池，另一端从所述开口伸入并连接着至少一个喷雾嘴，所述喷雾嘴位于所述喷淋塔内部上方；动力装置，其设置在所述第一管道上；第二管道，其一端从所述喷淋塔的底部伸入塔内，另一端连接至废气产生装置；以及真空机，其进气口连接至所述喷淋塔顶部的抽气口，出气口连接到一个液封槽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 废气 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅废气处理装置，其特征在于，包括：用于存储废气反应液体的溶液池；喷淋塔，其架设在所述溶液池上方，所述喷淋塔内部中空，底部与所述溶液池内的反应液体连通，顶部开设有抽气口和可穿过第一管道的开口；第一管道，其一端连通至所述溶液池，另一端从所述开口伸入并连接着至少一个喷雾嘴，所述喷雾嘴位于所述喷淋塔内部上方；动力装置，其设置在所述第一管道上；第二管道，其一端从所述喷淋塔的底部伸入塔内，另一端连接至废气产生装置；以及真空机，其进气口连接至所述喷淋塔顶部的抽气口，出气口连接到一个液封槽。
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