[实用新型]一种多晶硅废气处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种废气处理装置，特别涉及一种多晶硅废气处理装置。

背景技术

目前，在多晶硅的生产过程中，会产生大量的酸性废气，这些废气内含有大量有毒有害气体，不能直接排放。现在在多晶硅生产中处理废气的方式一般都是采用喷淋塔喷淋，废气从喷淋塔空间进入，塔内喷头喷出碱性液体与酸性废气发生反应，反应后的气体直接通过塔顶气口排除，塔底废液则输送至其他处理。

这样的处理方式有很多问题，一是废气反应不完全，由于废气是直接进入喷淋塔空间与喷淋液发生反应，废气无法做到与喷淋液的充分接触。二是废气直接排除，由于排出的气体内含有氢气等易燃易爆成分，极易发生燃烧，一旦产生回火，将导致极大的事故。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对上述不足，提供一种使多晶硅废气反应更完全，且不易产生爆燃的多晶硅废气处理装置。

一种多晶硅废气处理装置，包括：

用于存储废气反应液体的溶液池；

喷淋塔，其架设在所述溶液池上方，所述喷淋塔内部中空，底部与所述溶液池内的反应液体连通，顶部开设有抽气口和可穿过第一管道的开口；

第一管道，其一端连通至所述溶液池，另一端从所述开口伸入并连接着至少一个喷雾嘴，所述喷雾嘴位于所述喷淋塔内部上方；

动力装置，其设置在所述第一管道上；

第二管道，其一端从所述喷淋塔的底部伸入塔内，另一端连接至废气产生装置；以及真空机，其进气口连接至所述喷淋塔顶部的抽气口，出气口连接到一个液封槽。

优选的所述第一管道上设有第一阀门，所述第一阀门设置在所述动力装置的出液端。

优选的所述第三管道，其通过第二阀门连通至所述第一通道。

优选的所述喷雾嘴为两个或两个以上。

优选的所述喷淋塔采用玻璃钢材质。

优选的所述动力装置为泵。

优选的所述泵为自吸泵。

本实用新型所述的多晶硅废气处理装置，将废气进口置于喷淋塔内，且位于溶液池液面下方，废气首先与池内石灰乳反应后再进入空间与喷淋液反应，使反应更充分。反应后产生的废气被抽出进入液封槽，不直接与空气接触，避免了回火的可能。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

优选的实施方式如图1所示，本实用新型的结构示意图，包括：石灰乳进料管11，其一端伸入溶液池1内，另一端连接外部设备；溶液池1，用于装入反应液体石灰乳，所述溶液池1内空间安装有喷淋塔2；喷淋塔2，内部中空，底端开口，开口向下靠近溶液池底，喷淋塔2两侧的支架8支撑着喷淋塔2立于溶液池1底部，喷淋塔2内部空间与溶液池外部空间通过底端开口相通；喷淋塔2顶端开有出气口，管道进口；真空机5，所述真空机5进气口连接于喷淋塔出气口上，真空机出气口一端连接着液封槽7；循环泵3，所述循环泵3进液端伸入溶液池内，出液端具有第一管道和第二管道，第一管道从喷淋塔顶端管道进口伸入并连接着喷雾嘴4，第二管道作为输出管道；第一管道上安装有阀门10，第二管道上安装有阀门9；废气进管6从喷淋塔2底端开口伸入塔内。

使用时，石灰乳从石灰乳进料管11进入到溶液池1内，液位至少达到淹没喷淋塔2底端开口，废气进管6出气口必须位于石灰乳液内，打开阀门10，关闭阀门9，打开循环泵3电源，循环泵3将抽吸溶液池1内的石灰乳通过阀门10，从喷雾嘴4喷出，打开真空机5对喷淋塔2进行抽真空，开始从废气进管6输入废气，酸性废气在石灰乳内首先发生中和反应，部分酸性气体进入喷淋塔2内部空间与喷雾嘴4喷出的石灰乳液发生中和反应，反应生成的氢气等气体被真空机5抽出，进入液封槽7，然后从液封槽7水面进入空气中。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。