[实用新型]极紫外光刻反射式光学元件温控装置有效
| 申请号： | 201320807402.3 | 申请日： | 2013-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN203643742U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 王魁波;吴晓斌;王宇;陈进新;张罗莎;罗艳;谢婉露 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G05D23/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种极紫外光刻反射式光学元件温控装置，其包括测温单元、控制单元和冷却单元，冷却单元用于根据控制单元发出的控制命令可控地对极紫外光刻反射式光学元件进行冷却，冷却单元包括扩热板(22)、环路热管(23)、半导体制冷器(24)和液冷系统(27)，所述环路热管(23)包括用于传递所述光学元件(11)产生的热量的柔性管路(23b)，该柔性管路还用于隔绝由液冷系统(27)产生的振动传递至所述光学元件(11)。本实用新型的温控装置能够在真空环境下对极紫外光学元件进行有效、高精度温控，并且不会引入振动源和污染性气体。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 光刻 反射 光学 元件 温控 装置 | ||
【主权项】：
一种极紫外光刻反射式光学元件温控装置，包括测温单元、控制单元和冷却单元，测温单元用于检测极紫外光刻反射式光学元件(11)的温度分布或热变形，为控制单元提供决策依据；控制单元用于接收测温单元传输的实时监测数据，将控制命令发送给冷却单元；冷却单元用于根据控制单元发出的控制命令可控地对极紫外光刻反射式光学元件进行冷却，其特征在于：所述冷却单元包括环路热管(23)，所述环路热管(23)包括用于传递所述光学元件(11)产生的热量的柔性管路(23b)，该柔性管路还用于隔绝由液冷系统(27)产生的振动传递至所述光学元件(11)。
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