[实用新型]一种基于位图控制的自动四探针测试仪

摘要

一种基于位图控制的自动四探针测试仪，包括：计算机、壳体、摄像头、真空吸片台、四探针组件、三轴驱动机构，摄像头位于真空吸片台的正上方，四探针组件安装三轴驱动机构上，摄像头的信号输出端与计算机的信号输入端连接，三轴驱动机构的控制信号输入端与计算机的控制信号输出端连接，四探针组件的信号输出端连接测试仪。本实用新型真空吸片台可固定破碎的硅片样品，使本测试仪具有固定样品的作用，避免在测试过程中的样品移动；摄像头用于拍摄硅片的位置及形状，可通过图像进行定位，实现设备的碎片处理功能；通过对四探针三维驱动机构的控制，使四探针探头在承片台上移动定位，并通过三轴驱动机构下压探头，实现自动测量。

主权项

一种基于位图控制的自动四探针测试仪，其特征在于包括：计算机、壳体，以及安装于壳体内的摄像头、真空吸片台、四探针组件、用于驱动四探针探头二维移动和下压的三轴驱动机构，所述摄像头位于真空吸片台的正上方且与壳体顶部内壁固定连接，所述四探针组件安装在位于真空吸片台上方的三轴驱动机构上，所述摄像头的信号输出端与计算机的信号输入端连接，所述三轴驱动机构的控制信号输入端与计算机的控制信号输出端连接，所述四探针组件的信号输出端连接测试仪。