[实用新型]一种高精度均温快速升温装置

摘要

一种高精度均温快速升温装置，用于连续生产线连续镀膜设备上对于基板进行快速升温均温装置，该装置包含至少多根碳中波近红外灯管，位于基板的前后面，该加热装置还包括密封灯管罩，将横穿真空腔体，灯管穿在灯管罩内部，用于灯管在大气中加热，在辐射给真空中的基板。该加热装置还包含一层均热板、反射板、温度监控装置，所述均热板用于基板加热保证温度的均匀性；所述反射板用于热量保持和再次热量重复利用；该加热器在真空镀膜产线上能快速将大面积基板升温并能保持很好的温度均匀性，并且加热灯管引线点在真空腔体外，不会因为供电后，在真空腔体内产生两电极打弧起辉现象，也不会因为维护而破坏真空，可以在真空腔体外面更换维护加热装置。

主权项

一种用于连续生产线连续镀膜设备上对于基板进行快速升温和降温的高精度均温快速升温装置，该装置包含至少多根红外灯管，位于基板的前后面，用于基板快速均匀升温，其特征在于：该灯管是采用碳中波近红外灯管，该升温装置还包括密封灯管罩，横穿真空腔体，灯管穿在灯管罩内部，灯管引电接线以及拆卸维护在真空腔体外面，该升温装置还包含一层用于基板加热保证温度的均匀性的均热板、反射板、温度监控装置；所述红外灯管为碳中波的8字型的孪生双灯管形式，其功率是3000W‑5000W之间，灯管的总长度是800mm‑2000mm，接线方式为双端接线的方式，此灯管水平放置或垂直放置。