[实用新型]一种高精度均温快速升温装置

说明书

技术领域

本发明属于热处理领域，特别针对真空镀膜行业中基板升温降温领域，尤其是涉及一种高精度均温快速升温装置。

背景技术

目前真空行业在不断的发展，真空镀膜和热处理都是得到广大用户认可和应用与各个领域，特别是针对真空镀膜行业的磁控溅射，由于磁控溅射的应用广泛，采用不同的靶材能够得到不同的薄膜，用于装饰、防腐、显示、触摸或者新能源行业，随着前磁控溅射的广泛的使用，人们对其工艺控制的要求也越来越高，特别是对于精细加工方面，要在工件表面沉积一层具有特殊用途膜层，为保证工件表面的膜层性能，真空镀膜过程中，一般需要将工件加热到一定的温度。

目前，真空镀膜常用的工件加热方法是电阻丝加热法，该方法将热敏电阻的发热部直接与工件表面接触，并将其电线连接后固定与真空室，属于真空中接触式加热，距离越远就会出现基板加热升温速速越慢，特别对于流动式的生产线上的溅射，基板需要升至高温，必须将电阻丝加热器采用大功率或者是采用多个腔体多个加热器分段升温的方式，这样对于生产成本来说，生产线上需要耗费很大能量，并且设备的会很长，占地面积也会很大，设备的成本也高，并且此加热的方式做到最好的温度不均匀性是±5摄氏度，此外对于基板上的水汽除去效果也不是很好，可能会在基板表面留下水印痕迹。

针对目前现在电阻丝加热的缺点，为了解决这些缺点，在现有技术揭示了一种高精度均温快速升温装置，利用非接触式的红外灯管辐射加热，避免在真空环境中，由于热量辐射传递较慢，而影响生产升温速度和影响生产节拍，同时避免的基板必须采用接触式加热的缺点，非接触式的加热能减少生产线上真空镀膜设备的长度，同时降低生产设备的成本。此外还能降低生产时加热的耗能，特别是红外灯管加热对于基板上的水汽的除去，具有很明显的效果，红外灯管加热器采用特殊的灯管罩设计，避免了灯管引电线在真空腔体内部，从而避免引线端子出现打弧的现象，同时，在设备维护维修的时候，更换灯管不需要破坏真空，直接在真空腔体外面，将引电的快捷插头拔下，将灯管从灯管罩中取出即可。减少了生产的设备当机时间，提高生产效率。

实用新型内容

鉴于如上所述现有工艺的需求，一种高精度均温快速升温装置是用于真空磁控溅射设备上，在生产线上将基板在真空中快速升温，主要原理是靠真空的红外线的辐射升温，在真空中，热量传递很慢，但是对于碳中波或者是碳长波的红外，具有一定的穿透力，对于在真空中加热基板升温速度比电阻丝加热快，相对于短波来说升温速度是其的2倍左右，属于非接触式升温，非接触式的加热能减少生产线上真空镀膜设备的长度，同时降低生产设备的成本。此外还能降低生产时加热的耗能，特别是红外灯管加热对于基板上的水汽的除去，具有很明显的效果，红外灯管加热器采用特殊的灯管罩设计，避免了灯管引电线在真空腔体内部，从而避免引线端子出现打弧的现象，同时，在设备维护维修的时候，更换灯管不需要破坏真空，直接在真空腔体外面，将引电的快捷插头拔下，将灯管从灯管罩中取出即可。减少了生产的设备当机时间，提高生产效率。针对磁控溅射设备的真空中一种高精度均温快速升温装置进行详细说明：

本实用新型提供的一种高精度均温快速升温装置，用于连续生产线连续镀膜设备上对于基板进行快速升温和降温的均温装置，该装置包含至少多根红外灯管，位于基板的前后面，用于基板快速均匀升温，其特征在于：该灯管是采用碳中波近红外灯管，该加热装置还包括密封灯管罩，将横穿真空腔体，灯管穿在灯管罩内部，用于灯管在大气中加热，在辐射给真空中的基板，灯管引电接线以及拆卸维护在真空腔体外面，不会破坏真空。该加热装置还包含一层均热板、反射板、温度监控装置，所述均热板用于基板加热保证温度的均匀性；所述反射板用于热量保持和再次热量重复利用；温度监控装置用于基板和加热器的温度检测和温度控制。该加热器在真空镀膜产线上能快速将大面积基板升温并能保持很好的温度均匀性，并且加热灯管引线点在真空腔体外，不会因为供电后，在真空腔体内产生两电极打弧起辉现象，也不会因为维护而破坏真空，可以在真空腔体外面更换维护加热装置。

所述红外灯管，其特征在于：所述红外灯管为碳中波的8字型的孪生双灯管形式，其功率是3000W-5000W之间，灯管的总长度是800mm-2000mm，有效加热长度是650mm-1700mm，右端无效加热长度是60mm-90mm，左端无效加热长度是90mm-130mm，绝缘线长度是500mm，绝缘密封是采用四氟橡胶，接线方式为双端接线的方式，此灯管可水平放置可垂直放置，灯管管径是14x34mm。

所述碳中波灯管，其特征在于：碳中波灯管灯丝能替换为快速碳长波灯丝。