[实用新型]用于真空镀膜的磁导向装置有效
| 申请号： | 201320747610.9 | 申请日： | 2013-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN203593783U | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 汪奇;陶道昌 | 申请（专利权）人： | 安徽今上显示玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 233000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于真空镀膜的磁导向装置，包括磁导轨座、传送构件及传送座，所述磁导轨座安装在真空镀膜箱的顶板上，所述传送构件一端朝向所述磁导轨座并与所述磁导轨座有一距离，另一端与所述传送座相连，所述传送座用于驱动传送构件运动，其特征在于，所述磁导轨座朝向传送构件的一端设置有第一磁导向单元，所述传送构件朝向所述磁导轨座的一端设置有一第二磁导向单元，所述第一磁导向单元与所述第二磁导向单元相对的侧面极性相反。本实用新型用于真空镀膜的磁导向装置的优点在于：避免了粉尘以及颗粒的产生，减轻了传送构件作用在传动座上的重量，从而减轻了传送构件对传动座的磨损。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空镀膜 导向 装置 | ||
【主权项】：
一种用于真空镀膜的磁导向装置，包括磁导轨座、传送构件及传送座，所述磁导轨座安装在真空镀膜箱的顶板上，所述传送构件一端朝向所述磁导轨座并与所述磁导轨座有一距离，另一端与所述传送座相连，所述传送座用于驱动传送构件运动，其特征在于，所述磁导轨座朝向传送构件的一端设置有第一磁导向单元，所述传送构件朝向所述磁导轨座的一端设置有一第二磁导向单元，所述第一磁导向单元与所述第二磁导向单元相对的侧面极性相反。
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