[实用新型]快慢一体式真空阀

摘要

本实用新型公开一种快慢一体式真空阀，包括第一气缸、第二气缸、第一阀体、第一气缸轴和第二气缸轴；所述第一气缸轴的一端设置在所述第一气缸内，另一端位于所述第二气缸轴内，形成第二阀体；所述第二气缸轴的一端位于所述第二气缸内，另一端设置在所述真空阀内；所述第二气缸轴内设置有所述第二阀体的进气口和出气口；所述第二阀体的进气口和出气口分别于所述第一阀体的进气口和出气口相连通。本实用新型增加一个小气缸，同时在主阀气缸轴内，在增加一个气缸轴，慢真空时，使用小气缸，气体从主阀气缸轴内的气路流出，实现了将两只真空阀做成一只真空阀，一只真空阀内实现快慢两个功能，因此能减少真空接头，便于使用和安装。

主权项

一种快慢一体式真空阀，其特征在于：包括第一气缸（1）、第二气缸（2）、第一阀体（3）、第一气缸轴（7）和第二气缸轴（4）；所述第一气缸轴（7）的一端设置在所述第一气缸（1）内，另一端位于所述第二气缸轴（4）内，形成第二阀体（8）；所述第二气缸轴（4）的一端位于所述第二气缸（2）内，另一端设置在所述真空阀（3）内；所述第二气缸轴（4）内设置有所述第二阀体（8）的进气口（41）和出气口（42）；所述第二阀体（8）的进气口（41）和出气口（42）分别于所述第一阀体（3）的进气口（31）和出气口（32）相连通。