[实用新型]快慢一体式真空阀

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空阀，尤其涉及一种快慢一体式真空阀。

背景技术

目前国内的对真空腔体排气，只使用一个真空阀，因为气体在管道内流动过程中分为4种,即湍流、黏性流动、过渡流动、分子流动等。湍流在低压流体管道中持续时间很短，但是这个抽气过程很强烈，会引起真空腔内灰尘扬起，对产品质量会有影响。现有的改进方案是在要求比较高腔体上安装两只真空阀，一只大真空阀，一只小真空阀。为了减少湍流对腔体的影响，刚开始抽真空时，开的小的真空阀。但是安装两个真空需要在腔体上做两个接口，配管也是较多，对安装空间有要求。

实用新型内容

本实用新型的目的是：为了解决上述问题，提供一种结构简单、使用方便的快慢一体式真空阀，增加一个小气缸，同时在主阀气缸轴内，在增加一个气缸轴，慢真空时，使用小气缸，气体从主阀气缸轴内的气路流出，实现了将两只真空阀做成一只真空阀，一只真空阀内实现快慢两个功能，因此能减少真空接头，便于使用和安装。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是：

一种快慢一体式真空阀，包括第一气缸、第二气缸、第一阀体、第一气缸轴和第二气缸轴；所述第一气缸轴的一端设置在所述第一气缸内，另一端位于所述第二气缸轴内，形成第二阀体；所述第二气缸轴的一端位于所述第二气缸内，另一端设置在所述真空阀内；所述第二气缸轴内设置有所述第二阀体的进气口和出气口；所述第二阀体的进气口和出气口分别于所述第一阀体的进气口和出气口相连通。

进一步的，所述第一阀体的进气口和出气口分别通过第一法兰接头和第二法兰接头与真空腔和真空泵连接。

第一阀体3内的气路为气路1，第二阀体8内的气路为气路2。

本实用新型由于采用了上述技术，使之与现有技术相比具有的积极效果是：

本实用新型在第二气缸轴内设置第一气缸轴，结合第一气缸，形成了第二阀体，且在第二气缸轴内设置第二阀体的进气口和出气口，第二阀体的进气口和出气口分别于所述第一阀体的进气口和出气口相连通，将两只真空阀做成一只真空阀，一只真空阀内实现快慢两个功能，因此能减少真空接头，便于使用和安装。

附图说明

图1是本实用新型快慢一体式真空阀的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图进一步说明本实用新型的实施例。

请参见图1所示，一种快慢一体式真空阀，包括第一气缸1、第二气缸2、第一阀体3、第一气缸轴7和第二气缸轴4；所述第一气缸轴7的一端设置在所述第一气缸1内，另一端位于所述第二气缸轴4内，形成第二阀体8；所述第二气缸轴4的一端位于所述第二气缸2内，另一端设置在所述真空阀3内；所述第二气缸轴4内设置有所述第二阀体8的进气口41和出气口42；所述第二阀体8的进气口41和出气口42分别与所述第一阀体3的进气口31和出气口32相连通。

优选的，所述第一阀体3的进气口31和出气口32分别通过第一法兰接头5和第二法兰接头6与真空腔和真空泵连接。

在第二气缸轴4内设置第一气缸轴7，结合第一气缸1，形成了第二阀体8，且在第二气缸轴4内设置第二阀体8的进气口41和出气口42，第二阀体8的进气口41和出气口42分别与所述第一阀体3的进气口31和出气口32相连通；抽速慢时，用第二阀体8，气体经过气路2；抽速快时，用第一阀体3，气体经过气路1；将两只真空阀做成一只真空阀，一只真空阀内实现快慢两个功能，因此能减少真空接头，便于使用和安装。

综上所述，本实用新型结构简单、使用方便，增加一个小气缸，同时在主阀气缸轴内，在增加一个气缸轴，慢真空时，使用小气缸，气体从主阀气缸轴内的气路流出，实现了将两只真空阀做成一只真空阀，一只真空阀内实现快慢两个功能，因此能减少真空接头，便于使用和安装。