[实用新型]晶圆打印作业设备

摘要

本实用新型是一种晶圆打印作业设备，在台配置有打印装置及承载转位装置，该打印装置设有至少一执行晶圆打印作业的打印器，该承载转位装置位于打印装置的上方，并设有复数个承载器，该复数个承载器包含第一、二承载器，第一承载器承置打印面朝下的晶圆，并在相对应打印器的位置设有通孔，第二承载器位于第一承载器的通孔处，并设有承置晶圆的支撑件，该支撑件遮蔽通孔的局部，并使通孔未被遮蔽的部位形成一可供打印器对晶圆打印的作业区，承载转位装置设有具至少一驱动器的驱动机构，并以驱动器驱动至少一承载器带动已局部完成打印的晶圆作升降位移及旋转换位，使晶圆已打印部位位于支撑件，并令未打印部位位于作业区而接续供打印器进行打印作业。

主权项

一种晶圆打印作业设备，其特征在于，包含：机台；打印装置：配置于机台，并设有至少一执行晶圆打印作业的打印器；承载转位装置：装配于机台，并位于打印装置的上方，该承载转位装置设有复数个承载器，该复数个承载器包含第一、二承载器，该第一承载器承置打印面朝下的晶圆，并在相对应打印器的位置设有通孔，该第二承载器位于第一承载器的通孔处，并设有承置晶圆的支撑件，该支撑件遮蔽通孔的局部，并令该通孔未遮蔽的部位形成供打印器朝上对晶圆打印的作业区，该承载转位装置设有具有至少一驱动器的驱动机构，该驱动机构以驱动器驱动至少一承载器带动晶圆旋转，使晶圆的待打印部位对应于该作业区以供打印。