[实用新型]一种基于纳米光栅检测的新型陀螺仪

摘要

本实用新型公开了一种基于纳米光栅检测的新型陀螺仪，包括：键合基板、垫衬框体、支撑框体、驱动悬臂梁、可动框体、检测悬臂梁、质量块、激光光源、光电转换器件、信号检测模块。根据本实用新型的微机械陀螺仪，其整体结构对称，两质量块驱动方向相对，差分耦合输出，结构合理、紧凑，应用纳米光栅检测，抗电磁干扰能力强，且具有灵敏度高、可靠性好的优势。

主权项

一种基于纳米光栅检测的新型陀螺仪，其特性在于，包括： 键合基板（1），键合基板（1）中心布置有固定纳米光栅（11）； 垫衬框体（2），垫衬框体（2）设在键合基板（1）上方并与键合基板（1）相连接； 支撑框体（3），支撑框体（3）设在垫衬框体（2）的上方并与垫衬框体（2）相连接，且支撑框体（3）设有固定梳齿（7）； 驱动悬臂梁（4），驱动悬臂梁（4）与支撑框体（3）和可动框体（5）相连接，用于支撑可动框体（5）； 可动框体（5），可动框体（5）由驱动悬臂梁（4）支撑于支撑框体中心（3），并设有可动梳齿（8），在固定梳齿（7）驱动下可沿驱动方向振动； 检测悬臂梁（6），检测悬臂梁（6）与可动框体（5）和质量块（9）相连接，用于支撑微陀螺仪质量块（9）； 质量块（9），质量块（9）通过检测悬臂梁（6）固定在可动框体（5）中间，随可动框体（5）沿驱动方向振动，并相对于可动框体（5）沿检测方向振动，且质量块（9）中心布置可动纳米光栅（10）； 激光光源（12），激光光源（12）位于键合基板（1）中心正下方，用于为纳米光栅敏感结构提供光源； 光电转换器件（13），光电转换器件（13）位于质量块（9）中心正上方，用于检测透过纳米光栅的光强，并将光强变化转换为电信号； 信号检测模块（14），信号检测模块最早将电信号转化为角速度信号。