[实用新型]一种SiO2钝化层的液相沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种SiO₂钝化层的液相沉积装置，包括机架、物料运转系统和液相沉积系统；所述物料运转系统依次包括上料传送槽、酸洗槽、第一水洗槽、第二水洗槽、溢流清洗槽、喷淋槽和下料传送槽，相邻槽体之间相互连接；所述液相沉积系统从上到下依次包括饱和反应装置、过滤装置、过饱和反应装置和生长装置；相邻装置之间均通过阀门相连接；所述上料传送槽、酸洗槽、第一水洗槽、生长装置、第二水洗槽、溢流清洗槽、喷淋槽和下料传送槽依次设于机架上，构成流水线结构；机架上设有转移部件。采用本实用新型的装置沉积SiO₂钝化层工艺简单，效率高，成本低，沉积形成的SiO₂钝化层结构致密，具有良好的钝化效果。

主权项

一种SiO₂钝化层的液相沉积装置，其特征在于：包括机架(9)、物料运转系统和液相沉积系统(4)；所述物料运转系统依次包括上料传送槽(1)、酸洗槽(2)、第一水洗槽(3)、第二水洗槽(5)、溢流清洗槽(6)、喷淋槽(7)和下料传送槽(8)，相邻槽体之间相互连接；所述液相沉积系统从上到下依次包括饱和反应装置(40)、过滤装置(41)、过饱和反应装置(42)和生长装置(43)；相邻装置之间均通过阀门相连接；所述饱和反应装置(40)包括混合槽(401)和2个原材料供给槽(402)，所述混合槽(401)内设有搅拌系统(403)；混合槽(401)的上部与所述原材料供给槽(402)相连通，其底部通过阀门(12)与过滤装置(41)相连通；所述过滤装置(41)包括负压槽(412)和负压系统(413)，负压槽(412)内设有过滤网膜(411)，负压槽(412)一端通过阀门(12)连通混合槽(401)，另一端通过阀门连通所述过饱和反应装置(42)；所述过饱和反应装置(42)包括过饱和反应槽(421)和2个原材料供给槽(422)；过饱和反应槽(421)的一端通过阀门连通所述负压槽(412)，另一端通过阀门(12)连通所述生长装置(43)；所述生长装置(43)包括水浴加热槽(432)，以及设于水浴加热槽内的沉积槽(431)；所述沉积槽通过阀门与反应槽(421)相连通；所述上料传送槽(1)、酸洗槽(2)、第一水洗槽(3)、生长装置(43)、第二水洗槽(5)、溢流清洗槽(6)、喷淋槽(7)和下料传送槽(8)依次设于机架上，构成流水线结构；机架上设有转移部件。