[实用新型]太阳能电池用硅片扩散炉

摘要

本实用新型公开了一种扩散排风稳定性较好的太阳能电池用硅片扩散炉。该太阳能电池用硅片扩散炉，包括设置有炉门的炉体，炉体内设有石英舟，硅片放置于石英舟上，炉体上设有进气管和排放管，所述排放管上连接有抽风机，所述抽风机包括风机本体，所述风机本体上连接有控制开关，所述控制开关与风机本体之间设置有变频器。当外界环境发生变化时，通过调整变频器的频率进而使风机转速发生变化，使风机的抽气能力与外界环境发生变化之前保持一致，从而对扩散排风进行有效的控制，保证扩散炉的排风性能稳定，避免发生扩散炉内的扩散气体在硅片上分布不均而导致的硅片表面方块电阻均匀性较差的问题。适合在太阳能电池硅片加工设备领域推广应用。

主权项

太阳能电池用硅片扩散炉，包括设置有炉门（1）的炉体（2），炉体（2）内设有石英舟（3），硅片放置于石英舟（3）上，炉体（2）上设有用于扩散气体进入炉体（2）内的进气管（4）和扩散处理后排放尾气的排放管（5），所述排放管（5）上连接有抽风机（6），其特征在于：所述抽风机（6）包括风机本体（61），所述风机本体（61）上连接有控制开关（62），所述控制开关（62）与风机本体（61）之间设置有变频器（63）。