[实用新型]靶材组件有效
| 申请号： | 201320618768.6 | 申请日： | 2013-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN203474887U | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;袁倩靖 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张亚利;骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 种靶材组件，包括：背板，具有第一凹槽；靶材，与第一凹槽底面焊接连接，靶材侧壁与第一凹槽侧壁形成第二凹槽，所述第二凹槽为环形凹槽；靶材溅射面边缘和高于第一凹槽侧壁的靶材侧壁具有滚花图案；所述第一凹槽侧壁、第二凹槽底面、与第一凹槽侧壁等高的靶材侧壁具有喷丸图案。本实用新型的靶材组件减小了高真空腔室内异常放电的情况，在硅片上能够形成均匀性好的膜层，提高半导体器件的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 | ||
【主权项】：
一种靶材组件，其特征在于，包括：背板，具有第一凹槽；靶材，与第一凹槽底面焊接连接，靶材侧壁与第一凹槽侧壁形成第二凹槽，所述第二凹槽为环形凹槽；靶材溅射面边缘和高于第一凹槽侧壁的靶材侧壁具有滚花图案；所述第一凹槽侧壁、第二凹槽底面、与第一凹槽侧壁等高的靶材侧壁具有喷丸图案。
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