[实用新型]一种蒸镀坩埚有效
| 申请号： | 201320599658.X | 申请日： | 2013-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN203451609U | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 赵德江;张家奇 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 孟宪功 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种蒸镀坩埚，包括：容置装置、坩埚盖、阻挡装置；其中，所述坩埚盖安装于所述容置装置的开口处且所述坩埚盖设有蒸发孔；所述阻挡装置设于所述蒸发孔的下方位置，且所述阻挡装置的中心穿过有轴，所述轴安装于所述容置装置的内壁且与所述坩埚盖所处平面平行。本实用新型提供的一种蒸镀坩埚，通过阻挡装置阻挡蒸镀材料从容置装置中剧烈喷发及溅射，而且阻挡装置的表面可以粘附气态的蒸镀材料，避免了气态蒸镀材料由于冷却，在坩埚盖上的堆积现象，为一进步使蒸镀材料的蒸发速度均匀可控提供了可行的技术方案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 | ||
【主权项】：
一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：容置装置、坩埚盖、阻挡装置；其中，所述坩埚盖安装于所述容置装置的开口处且所述坩埚盖设有蒸发孔；所述阻挡装置设于所述蒸发孔的下方位置，且所述阻挡装置的中心穿过有轴，所述轴安装于所述容置装置的内壁且与所述坩埚盖所处平面平行。
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