[实用新型]一种涂胶装置有效
申请号: | 201320588203.8 | 申请日: | 2013-09-23 |
公开(公告)号: | CN203610279U | 公开(公告)日: | 2014-05-28 |
发明(设计)人: | 胡锋涛;陈起伟;侯柏宇;邓觉为;罗建华;李斌;马金金;杜兴时 | 申请(专利权)人: | 西安神光安瑞光电科技有限公司 |
主分类号: | B05C11/00 | 分类号: | B05C11/00 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 商宇科 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型提供一种涂胶装置,包括依次连接的光刻胶瓶、胶泵和控制阀,该装置还包括设置在胶泵与控制阀之间的耐化学品腐蚀的囊式过滤器。本实用新型在胶泵管路中加入一个过滤器,可在胶泵打胶时过滤掉胶中的杂质和颗粒,可提升涂胶后胶层的质量,提高在线的良率,降低返工率、节约原材料成本,增加设备的产能等。 | ||
搜索关键词: | 一种 涂胶 装置 | ||
【主权项】:
一种涂胶装置,包括依次连接的光刻胶瓶、胶泵和控制阀,其特征在于:该装置还包括设置在胶泵与控制阀之间的耐化学品腐蚀的过滤器。
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