[实用新型]应用于多晶硅定向凝固提纯的组合式坩埚有效
申请号: | 201320573012.4 | 申请日: | 2013-09-16 |
公开(公告)号: | CN203486914U | 公开(公告)日: | 2014-03-19 |
发明(设计)人: | 温书涛;刘子成;袁涛;陈磊;谭毅 | 申请(专利权)人: | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266234 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型属于多晶硅提纯领域,具体涉及一种应用于多晶硅定向凝固提纯的组合式坩埚,其特征在于包括石英坩埚壁和石墨坩埚底,石英坩埚壁的下端与石墨坩埚底相互拼接,拼接方式为石墨坩埚底沿石英坩埚壁下边沿相对应位置处开设有限位凹槽,石英坩埚壁下端位于限位凹槽内,或者石墨坩埚底为倒T型,石英坩埚壁下端位于沿倒T型缺口位置处;其中,石英坩埚壁为上下贯通的立体结构,石墨坩埚底的横截面形状与石英坩埚壁的横截面形状一致。本实用新型提高了定向凝固的效果,提高散热效率,缩短了定向凝固时间,从而减小能耗。 | ||
搜索关键词: | 应用于 多晶 定向 凝固 提纯 组合式 坩埚 | ||
【主权项】:
一种应用于多晶硅定向凝固提纯的组合式坩埚,其特征在于包括石英坩埚壁和石墨坩埚底,石英坩埚壁的下端与石墨坩埚底相互拼接,拼接方式为石墨坩埚底沿石英坩埚壁下边沿相对应位置处开设有限位凹槽,石英坩埚壁下端位于限位凹槽内,或者石墨坩埚底为倒T型,石英坩埚壁下端位于沿倒T型缺口位置处;其中,石英坩埚壁为上下贯通的立体结构,石墨坩埚底的横截面形状与石英坩埚壁的横截面形状一致。
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