[实用新型]一种压力传感器有效
| 申请号： | 201320559176.1 | 申请日： | 2013-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN203443714U | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 刘清惓;周晓;陈传寅;张加宏;李敏 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 许方 |
| 地址： | 210044 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种压力传感器，包括衬底和设置在衬底上的膜片，还包括消除机械迟滞误差装置，所述消除机械迟滞误差装置包括依次相连接的电源、RC低通滤波器和压电执行器；所述压电执行器位于膜片的表面中央，用于在电压控制下驱动膜片弯曲；所述RC低通滤波器的时间常数大于或等于膜片的一阶谐振周期。本实用新型可以避免膜片位置的不确定性问题，减小机械迟滞偏移造成的误差，提高压力传感器的测量精度。同时本实用新型的传感器结构简单，制造工艺简易，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种压力传感器，包括衬底和设置在衬底上的膜片，其特征在于，还包括消除机械迟滞误差装置，所述消除机械迟滞误差装置包括依次相连接的电源、RC低通滤波器和压电执行器；所述压电执行器位于膜片的表面中央，用于在电压控制下驱动膜片弯曲；所述RC低通滤波器的时间常数大于或等于膜片的一阶谐振周期。
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