[实用新型]调节清洗刷压力的装置有效
| 申请号： | 201320558215.6 | 申请日： | 2013-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN203484361U | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 唐强;钱继君 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种调节清洗刷压力的装置，包括：控制系统、压力转换器、气压阀、气体管路、气缸、清洗刷以及皮带；其中，压力转换器与气压阀通过气体管路连接，压力转换器与控制系统信号连接；气缸与气压阀通过气体管路连接；清洗刷与气缸通过皮带连接；控制系统能够给压力转换器信号，由压力转换器控制气压阀，气压阀使气体管路中的气压达到预定气压，气体进入气缸能够带动气缸拉动皮带，从而能够准确的由皮带调节所述清洗刷对半导体晶圆的压力。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 洗刷 压力 装置 | ||
【主权项】：
一种调节清洗刷压力的装置，用于调节清洗刷对半导体晶圆表面的压力，其特征在于，所述装置包括：控制系统、压力转换器、气压阀、气体管路、气缸、清洗刷以及皮带；其中，所述压力转换器与所述气压阀通过气体管路连接，所述压力转换器与所述控制系统信号连接；所述气缸与所述气压阀通过气体管路连接；所述清洗刷与所述气缸通过皮带连接。
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