[实用新型]一种用于单晶炉重掺锑杂质的挥发器装置有效
| 申请号： | 201320535907.9 | 申请日： | 2013-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN203474955U | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 任丙彦;黄永恩;张学强;范全东 | 申请（专利权）人： | 宁晋赛美港龙电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 13108 | 代理人： | 李羡民;周晓萍 |
| 地址： | 055550 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 种用于单晶炉重掺锑杂质的挥发器装置，特别之处是，它包括高压桶和位于高压桶内的载料舟，所述高压桶外廓为圆柱形，高压桶为中空结构，其顶部封闭、底部为通透的环形平面，高压桶内设有挂台，载料舟悬挂在挂台处。本实用新型使用时，高压筒底部全部浸入熔硅中，气体通道部分露出熔硅表面，使挥发器装置内的气体有溢出口，防止挥发器与熔硅接触时，因挥发器内锑合金挥发时的气压升高造成挥发器抖动过激造成事故，有效解决气体空间的剧烈变化而产生的掺杂效率低的问题。采用本实用新型的有益效果是：明显减少了耗材用量，提高了杂质利用效率。试验表明，采用该装置掺入杂质与传统工艺相比，杂质掺入效率由15%~20%提高至75%~85%。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单晶炉重掺锑 杂质 挥发 装置 | ||
【主权项】：
一种用于单晶炉重掺锑杂质的挥发器装置，其特征在于，它包括高压桶（4）和位于高压桶内的载料舟（6），所述高压桶外廓为圆柱形，高压桶为中空结构，其顶部封闭、底部为通透的环形平面，高压桶内设有挂台，所述载料舟悬挂在挂台处。
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