[实用新型]基于数字微镜器件的跨尺度测量装置

摘要

本实用新型公开了一种基于数字微镜器件的跨尺度测量装置，其包括激光光源、准直镜、DMD及其控制系统、第一凸透镜、分光镜、第二凸透镜、第三凸透镜和CCD相机，准直镜的出射方向与DMD的表面的夹角为锐角，沿DMD的出射方向依次设置第一凸透镜和分光镜，分光镜的反射方向沿光路依次放置第二凸透镜和位于第二凸透镜焦点附近的被测物，分光镜的反射方向的相反方向沿光路依次放置第三凸透镜和位于第三凸透镜焦点附近的CCD相机；各凸透镜相应侧的焦点均落于分光镜上。本实用新型利用DMD构建不同参数特征的结构光，并将其应用于材料表面形貌测量，可根据测量需要，方便、快捷、准确地控制由DMD反射后的光源的参数及其扫描方式，从而完成不同尺度的表面形貌测量要求。

主权项

基于数字微镜器件的跨尺度测量装置，其特征在于：包括激光光源、准直镜、DMD及其控制系统、第一凸透镜、分光镜、第二凸透镜、第三凸透镜和CCD相机，准直镜与激光光源发光的光束共光轴，准直镜的出射方向与DMD的表面的夹角大于0°且小于90°，沿DMD的第一出射方向依次设置第一凸透镜和分光镜，分光镜的反射方向沿光路依次放置第二凸透镜和被测物，分光镜的反射方向的相反方向沿光路依次放置第三凸透镜和CCD相机；其中，DMD的反射面位于准直镜和第一凸透镜的光轴上，第一凸透镜、第二凸透镜和第三凸透镜相应侧的焦点均落于分光镜上，被测物放置于第二凸透镜的另一侧焦点附近，CCD相机放置于第三凸透镜的另一侧焦点附近。