[实用新型]真空镀膜用可移动式磁力装置有效
| 申请号： | 201320510144.2 | 申请日： | 2013-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN203419979U | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 冯新伟 | 申请（专利权）人： | 江苏津通先锋光电显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213164 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜用可移动式磁力装置，包括垂直设置的冷却基座、贴合安装在冷却基座侧表面的永磁铁，所述冷却基座上设有滑轨，永磁铁与冷却基座相贴的侧表面具有与滑轨相配的滑槽。本实用新型通过移动永磁铁位置，可均匀地耗用靶材的各个部分，充分发挥靶材的最大使用效率，降低成本，确保靶材消耗的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 移动式 磁力 装置 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜用可移动式磁力装置，包括垂直设置的冷却基座（1）、贴合安装在冷却基座（1）侧表面的永磁铁（2），其特征是：所述冷却基座（1）上设有滑轨（4），永磁铁（2）与冷却基座（1）相贴的侧表面具有与滑轨（4）相配的滑槽（5）。
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