[实用新型]LED氮化镓生产炉废氨气回收装置有效

专利信息
申请号: 201320488282.5 申请日: 2013-08-12
公开(公告)号: CN203461830U 公开(公告)日: 2014-03-05
发明(设计)人: 金向华;陈琦峰;周珽;冉康德;曹文权;孙猛 申请(专利权)人: 苏州金宏气体股份有限公司
主分类号: C01C1/12 分类号: C01C1/12
代理公司: 南京众联专利代理有限公司 32206 代理人: 周新亚
地址: 215143 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种LED氮化镓生产炉废氨气回收装置,它包括缓冲罐、过滤器、汽化器、冷凝器、精馏塔和高位槽,其特征是所述的过滤器共有两个,所述的冷凝器共有三个,所述的汽化器共有两个;所述的缓冲罐左侧设有废氨气管路,缓冲罐顶部出口与一级过滤器一端相连;所述的一级过滤器的另一端与二级过滤器相连,二级过滤器出口与冷凝器Ⅰ入口相连,冷凝器Ⅰ上端连有放空管路,下端出口与汽化器Ⅰ左侧入口相连;汽化器Ⅰ右侧中部与冷凝器Ⅱ相连;冷凝器Ⅱ上端连有放空管路,下端出口与汽化器Ⅱ左侧入口相连,所述的汽化器Ⅱ底部连有排污管路,顶部设有精馏塔,精馏塔顶部出口与冷凝器Ⅲ相连。该装置消除了环境污染,实现了废氨气的循环利用,节约了成本。
搜索关键词: led 氮化 生产 氨气 回收 装置
【主权项】:
一种LED氮化镓生产炉废氨气回收装置,它包括缓冲罐、过滤器、汽化器、冷凝器、精馏塔和高位槽,其特征是所述的过滤器共有两个分别是一级过滤器和二级过滤器,所述的冷凝器共有三个分别是冷凝器Ⅰ、冷凝器Ⅱ、冷凝器Ⅲ,所述的汽化器共有两个分别是汽化器Ⅰ和汽化器Ⅱ;所述的缓冲罐左侧设有废氨气管路,缓冲罐顶部出口与一级过滤器一端相连;所述的一级过滤器的另一端与二级过滤器相连,二级过滤器出口与冷凝器Ⅰ入口相连,冷凝器Ⅰ上端连有放空管路,下端出口与汽化器Ⅰ左侧入口相连;汽化器Ⅰ右侧中部与冷凝器Ⅱ相连;冷凝器Ⅱ上端连有放空管路,下端出口与汽化器Ⅱ左侧入口相连,所述的汽化器Ⅱ底部连有排污管路,顶部设有精馏塔,精馏塔顶部出口与冷凝器Ⅲ相连,冷凝器Ⅲ上端连有放空管路,下端出口与高位槽相连,高位槽底部与精馏塔相连,精馏塔,冷凝器Ⅲ与高位槽组成一个回流系统;高位槽中部设有成品氨管路,与氨气成品罐相连。
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