[实用新型]一种溶胶凝胶工艺的提拉法薄膜制备装置

摘要

本实用新型公开了一种溶胶凝胶工艺的提拉法薄膜制备装置，包括隔离支持框架，在隔离支持框架上部安装有直线电机，直线电机与竖直设置的直线齿条传动连接，直线齿条的下端与横向设置的导向臂固定连接，导向臂与水平的支承台固定连接；支承台上方正对的隔离支持框架上安装有基板夹持器，基板夹持器向下连接有镀膜基板。本实用新型装置，通过基板夹持器和导向臂固定的方式可以实现正向提拉法镀膜，还可以通过支承台和导向臂固定的方式可以实现反向提拉法镀膜；通过隔离支持框架和防尘套管将电控部分、机械传动部分封装并和提拉制膜工作区隔离，不会对溶胶和镀膜过程造成污染、结构紧凑，工作可靠。

主权项

一种溶胶凝胶工艺的提拉法薄膜制备装置，其特征在于，包括隔离支持框架（13），在隔离支持框架（13）上部安装有直线电机（2），直线电机（2）与竖直设置的直线齿条（3）传动连接，直线齿条（3）的下端与横向设置的导向臂（4）固定连接，导向臂（4）与水平的支承台（5）固定连接；支承台（5）上方正对的隔离支持框架（13）上安装有基板夹持器（8），基板夹持器（8）向下连接有镀膜基板（7）。