[实用新型]一种溶胶凝胶工艺的提拉法薄膜制备装置

权利要求书

1.一种溶胶凝胶工艺的提拉法薄膜制备装置，其特征在于，包括隔离支持框架（13），在隔离支持框架（13）上部安装有直线电机（2），

直线电机（2）与竖直设置的直线齿条（3）传动连接，直线齿条（3）的下端与横向设置的导向臂（4）固定连接，导向臂（4）与水平的支承台（5）固定连接；支承台（5）上方正对的隔离支持框架（13）上安装有基板夹持器（8），基板夹持器（8）向下连接有镀膜基板（7）。

2.一种溶胶凝胶工艺的提拉法薄膜制备装置，其特征在于，包括隔离支持框架（13），在隔离支持框架（13）上部安装有直线电机（2），

直线电机（2）与竖直设置的直线齿条（3）传动连接，直线齿条（3）的下端与横向设置的导向臂（4）固定连接，

导向臂（4）与基板夹持器（8）固定连接，基板夹持器（8）向下固定连接有镀膜基板（7）。

3.根据权利要求1或2所述的溶胶凝胶工艺的提拉法薄膜制备装置，其特征在于，所述的直线电机（2）与调速-方向控制模块（12）信号连接，调速-方向控制模块（12）分别与换向开关（9）、电源开关（10）、速度调节旋钮（11）信号连接。

4.根据权利要求1或2所述的溶胶凝胶工艺的提拉法薄膜制备装置，其特征在于，所述的隔离支持框架（13）上表面直线齿条（3）向上伸出的位置设置有防尘套管（1）。

5.根据权利要求1或2所述的溶胶凝胶工艺的提拉法薄膜制备装置，其特征在于，所述的导向臂（4）水平穿过隔离支持框架（13）的导向槽中。