[实用新型]一种热偶升降装置有效
申请号: | 201320471430.2 | 申请日: | 2013-08-02 |
公开(公告)号: | CN203465015U | 公开(公告)日: | 2014-03-05 |
发明(设计)人: | 郝琪;林欣家;董金卫 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
主分类号: | G01K1/14 | 分类号: | G01K1/14;G01K7/02;C30B31/00 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 韩国胜 |
地址: | 100015 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及半导体加工技术领域,公开了一种热偶升降装置,包括热偶支撑架,调整热偶支撑架高度的升降机构,支撑升降机构的支撑腿,所述支撑腿与升降机构均连接在支撑动平台上,所述支撑腿为三个连杆,所述连杆一端与所述支撑动平台可转动连接,所述连杆的另一端与传动部件可转动连接。本实用新型热偶升降装置可对热偶进行三个方向的移动,节约人力,操作方便。 | ||
搜索关键词: | 一种 升降 装置 | ||
【主权项】:
一种热偶升降装置,包括热偶支撑架(1),调整热偶支撑架(1)高度的升降机构,支撑升降机构的支撑腿,其特征在于,所述支撑腿与升降机构均连接在支撑动平台(3)上,所述支撑腿为三个连杆(4),所述连杆(4)一端与所述支撑动平台(3)可转动连接,所述连杆(4)的另一端与传动部件可转动连接。
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