[实用新型]一种热偶升降装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，特别是涉及一种热偶升降装置。

背景技术

为了测量半导体扩散设备的炉体恒温区的长度，确定恒温区的位置，确定生产硅片的位置，需要将热偶（长约1000mm）在炉体内进行升降操作。因此，需要热偶升降装置，支撑热偶实现竖直方向的直线运动。

目前的半导体扩散设备的热偶升降装置的底部多为固定的支撑架，因此，热偶相对于工艺门的拉温区孔的位置的调整操作很不方便。图1为现有技术中的热偶升降装置的结构示意图，热偶升降装置采用钢材质为支撑结构，整个装置的质量较高，采用电机7驱动，利用带轮8、带9实现热偶支撑架1a上下往复运动。该装置的底部支撑为固定支撑腿11，不能进行水平位置调整，只能靠工作人员手动搬运，现场工作人员操作极不方便。

热偶支撑架1a的运动过程中需要直线导轨10进行导向，而直线导轨10安装在一根导轨支撑上，为了保证直线导轨10的直线度，需要对导轨支撑精加工，提高了成本，同时导轨支撑一般质量较高，造成整个装置的不稳定。带传动过程中，由于装配松紧程度变化，引起滑动，影响传动的精确程度。整个直线运动装置的结构不够紧凑，电机7、直线导轨10等所占空间较大，整个运动控制过程不够精确。

实用新型内容

（一）要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是如何实现热偶升降装置中，热偶支撑架具有三个方向均可移动的功能。

（二）技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种热偶升降装置，包括热偶支撑架，调整热偶支撑架高度的升降机构，支撑升降机构的支撑腿，所述支撑腿与升降机构均连接在支撑动平台上，所述支撑腿为三个连杆，所述连杆一端与所述支撑动平台可转动连接，所述连杆的另一端与传动部件可转动连接。

其中，所述连杆与支撑动平台通过虎克铰链连接。

其中，所述连杆与传动部件通过虎克铰链连接。

其中，所述传动部件为第二气缸，所述第二气缸的活塞杆与虎克铰链采用螺纹连接方式连接。

其中，所述升降机构为第一气缸。

其中，所述第一气缸与热偶支撑架可转动连接。

其中，所述热偶支撑架、支撑动平台、连杆均采用铝材质。

其中，所述第二气缸安装在固定地脚上。

（三）有益效果

上述技术方案所提供的一种热偶升降装置，其支撑腿为三个连杆，连杆一端与支撑动平台可转动连接，连杆的另一端与传动部件可转动连接，本实用新型可对热偶进行三个方向的移动，节约人力，操作方便；此外，本实用新型热偶升降装置还采用气压传动代替现有的带传动，对热偶位置的调整更加精确，且结构紧凑。

附图说明

图1是现有技术中的热偶升降装置的结构示意图；

图2是本实用新型一种热偶升降装置的示意图。

其中，1、热偶支撑架；1a、热偶支撑架；2、第一气缸；3、支撑动平台；4、连杆；5、第二气缸；6、固定地脚；7、电机；8、带轮；9、带；10、直线导轨；11、固定支撑腿。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

如图2，为本实用新型一种热偶升降装置的结构示意图，包括热偶支撑架1，热偶支撑架1用于支撑热偶，调整热偶支撑架1高度的升降机构第一气缸2，第一气缸2与热偶支撑架1可转动连接，支撑升降机构的支撑腿，支撑腿与第一气缸2均连接在支撑动平台3上，支撑腿为三个连杆4，连杆4一端与所述支撑动平台3通过虎克铰链连接，连杆4的另一端与传动部件第二气缸5通过虎克铰链连接，第二气缸5的活塞杆与虎克铰链采用螺纹连接方式连接，第二气缸5安装在固定地脚6上，固定地脚6起到与地面固定的作用，保证热偶升降装置的水平，支撑三个小型第二气缸；热偶支撑架1、支撑动平台3、连杆4均采用铝材质，铝材质使热偶升降装置质量较轻，易于实现热偶的三维移动调整操作。

本实用新型热偶升降装置中，每个连杆4有5个自由度，三个连杆4构成的整体可以实现三个方向的移动，而无转动。工作过程中，底部的3个小型的第二气缸5实现热偶升降装置在竖直方向上的小幅度上、下运动，在竖直方向运动过程中，要机械锁紧第二气缸5与连杆4间的三个虎克铰链，从而调节本实用新型热偶升降装置的整体高度。当本实用新型热偶升降装置需要进行水平方向移动时，对连杆4与第二气缸5间的虎克铰链解锁，第二气缸5的活塞杆伸缩，从而可以实现热偶升降装置水平位置的调整，克服了现有装置中，通过人工搬运来改变热偶升降装置的水平位置。