[实用新型]清洁装置有效
| 申请号： | 201320456546.9 | 申请日： | 2013-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN203426079U | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 宣荣峰 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B15/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种清洁装置，包括：防尘罩、圆形导轨、刮刀、滚动轴、旋转盘和操作杆；其中，圆形导轨设置在防尘罩的内壁上；旋转盘通过滚动轴设置在圆形导轨上；刮刀设置在旋转盘上；操作杆一端与旋转盘连接，另一端延伸至防尘罩外；将防尘罩罩住电极，摇动操作杆带动旋转盘，旋转盘能够通过滚动轴在圆形导轨上旋转，带动刮刀沿着电极的凹槽进行匀力清理，由于刮刀能够匀速转动，从而能够将累积在电极边缘凹槽内的污染物完全清除，同时由于防尘罩完全照着电极，因此刮刀刮下的污染物不会遗落在反应腔室其他区域，能够保证清理后反应腔室的洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 | ||
【主权项】：
一种清洁装置，其特征在于，包括： 防尘罩、圆形导轨、刮刀、滚动轴、旋转盘和操作杆；所述圆形导轨设置在所述防尘罩的内壁上；所述旋转盘通过所述滚动轴设置在所述圆形导轨上；所述刮刀设置在所述旋转盘上；所述操作杆一端与所述旋转盘连接，另一端延伸至所述防尘罩外。
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