[实用新型]多晶硅尾气回收系统中氢气的连续吸附再生装置

摘要

本实用新型是一种多晶硅尾气回收系统中氢气的连续吸附再生装置，两个吸附塔顶部均分别设置两个进气口和一个出气口，两个进气口通过管路分别与并联的电加热器和氮气冷却器出气口相连，两个并联装置进气口分别与氮气入气管相连；两吸附塔顶部出气口通过管路与纯氢出气管连接，并通过氢气回流管与氢气压缩机相连，氢气压缩机出气口与氮气入气管连接；吸附塔的塔釜也分别设置一个进气口和两个出气口，进气口与尾气进气管连接，两个出气口与串联的废气电加热器、废气冷却器连接，串联的废气电加热器、废气冷却器与废气出气管连接。本实用新型将加热、冷却、置换一体化，实现两个连续操作的吸附塔交替吸附和解吸再生，完全替代了三个吸附塔装置进行连续操作。

主权项

一种多晶硅尾气回收系统中连续吸附塔再生装置，包括两个交替使用的吸附塔，两组电加热器，氮气冷却器，废气冷却器，尾气进气管，纯氢出气管，氮气入气管，废气出气管，氢气压缩机；其特征是：两个吸附塔顶部均分别设置两个进气口和一个出气口，两个进气口通过管路分别与并联的电加热器、氮气冷却器出气口相连，两个并联装置进气口分别与氮气入气管相连；两吸附塔顶部出气口通过管路与纯氢出气管连接，并通过氢气回流管与氢气压缩机相连，氢气压缩机出气口与氮气入气管连接；吸附塔的塔釜也分别设置一个进气口和两个出气口，进气口与尾气进气管连接，两个出气口与串联的废气电加热器、废气冷却器连接，串联的废气电加热器、废气冷却器与废气出气管连接。