[实用新型]多晶硅尾气回收系统中氢气的连续吸附再生装置

权利要求书

1.一种多晶硅尾气回收系统中连续吸附塔再生装置，包括两个交替使用的吸附塔，两组电加热器，氮气冷却器，废气冷却器，尾气进气管，纯氢出气管，氮气入气管，废气出气管，氢气压缩机；其特征是：两个吸附塔顶部均分别设置两个进气口和一个出气口，两个进气口通过管路分别与并联的电加热器、氮气冷却器出气口相连，两个并联装置进气口分别与氮气入气管相连；两吸附塔顶部出气口通过管路与纯氢出气管连接，并通过氢气回流管与氢气压缩机相连，氢气压缩机出气口与氮气入气管连接；吸附塔的塔釜也分别设置一个进气口和两个出气口，进气口与尾气进气管连接，两个出气口与串联的废气电加热器、废气冷却器连接，串联的废气电加热器、废气冷却器与废气出气管连接。

2.如权利要求1所述的装置，其特征是每个吸附塔设置对应的阀门，包括一塔尾气进气阀和二塔尾气进气阀，一塔纯氢出气阀和二塔纯氢出气阀，一塔氮气进气冷阀、一塔氮气进气热阀、二塔氮气进气冷阀和二塔氮气进气热阀，一塔废气出气冷阀、一塔废气出气热阀、二塔废气出气冷阀和二塔废气出气热阀。

3.如权利要求2所述的装置，其特征是：尾气进气管分别与第一吸附塔、第二吸附塔塔底的一塔尾气进气阀、二塔尾气进气阀连接，第一吸附塔、第二吸附塔塔顶的一塔纯氢出气阀、二塔纯氢出气阀分别与纯氢出气管连接；纯氢出气管通过氢气回流管与氢气压缩机相连，氢气压缩机出气口与氮气入气管连接；氮气入气管与并联的氮气电加热器和氮气冷却器进气口分别相连，氮气电加热器出气口与两个吸附塔塔顶的一塔氮气进气热阀、二塔氮气进气热阀分别通过管路相连，氮气冷却器出气口与一塔氮气进气冷阀、二塔氮气进气冷阀通过管路分别相连；两个吸附塔的塔底一塔废气出气冷阀和二塔废气出气冷阀并联，一塔废气出气热阀和二塔废气出气热阀并联，然后一塔废气出气冷阀、二塔废气出气冷阀、一塔废气出气热阀、二塔废气出气热阀的管路与废气电加热器连接；电加热器和废气冷却器与废气出气管串联连接。