[实用新型]硅片抛光机冷凝水盛接托盘

摘要

本实用新型属于硅片切割用设备技术领域，尤其涉及一种硅片抛光机冷凝水盛接托盘，包括：外形与工作台的底部外形相适应的托盘体，该托盘体与工作台相连接的一侧上设有凹槽，该凹槽用于盛接冷凝水及泄露研磨液；若干连接件，该若干连接件均有一端固定设置在托盘体上；固定设置在托盘体上的排水管，该排水管与凹槽连通；使用时，盛接托盘设有凹槽，从工作台底部滴落的冷凝水及泄露研磨液会滴落到凹槽中，然后由排水管排出，避免直接滴落到工作台底部的轨道上，解决了冷凝水及研磨液腐蚀轨道造成的机台精度降低及因此造成的产品不良的问题。

主权项

硅片抛光机冷凝水盛接托盘，其特征在于，所述硅片抛光机冷凝水盛接托盘包括：外形与工作台的底部外形相适应的托盘体，所述托盘体与所述工作台相连接的一侧上设有用于盛接冷凝水及泄露研磨液的凹槽；若干连接件，若干所述连接件均有一端固定设置在所述托盘体上；一端固定设置在所述托盘体上的排水管，所述排水管与所述凹槽连通。