[实用新型]一种真空镀膜机的台车位置检测装置有效
| 申请号： | 201320361586.5 | 申请日： | 2013-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN203307430U | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 薛辉;昌江 | 申请（专利权）人： | 芜湖真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 马荣 |
| 地址： | 241009 安徽省芜湖市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机的台车位置检测装置，包括磁导轨，还包括光纤发射器、光纤接收器，所述的光纤发射器的光纤头与光纤接收器的光纤头分别穿过两个光纤定位板设置在磁导轨两侧基板上开设的腰型孔中。采用上述结构，本实用新型具有以下优点：1、与现有的传感器检测装置相比较，本实用新型克服了因磁导轨在高温工作状态下发生热胀冷缩现象而产生的一系类问题；2、本实用新型连接方式为柔性可调方式，即无论磁导轨在何种温度下工作，该柔性可调传感器机构都可以有效的随之调节，从而保证了镀膜设备的正常运行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 台车 位置 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜机的台车位置检测装置，包括磁导轨（7），其特征在于：还包括光纤发射器（1）、光纤接收器（2），所述的光纤发射器（1）的光纤头与光纤接收器（2）的光纤头分别穿过两个光纤定位板（4）设置在磁导轨（7）两侧基板上开设的腰型孔中。
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