[实用新型]测量波像差的系统有效
| 申请号： | 201320339373.2 | 申请日： | 2013-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN203365912U | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 赵卫;张周锋;谢永军;康福增 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01M11/02 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 姚敏杰 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种测量波像差的系统，包括干涉仪以及与干涉仪处于同一光路上的平面反射系统；待测光学系统置于干涉仪和平面反射系统之间；平面反射系统是液体反射镜；干涉仪、待测光学系统以及液体反射镜自上而下依次设置在同一光路上。本实用新型提供了一种不仅可用来检测小口径光学系统波像差，同样适用于大口径光学系统波像差检测的系统。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 波像差 系统 | ||
【主权项】：
一种测量波像差的系统，包括干涉仪以及与干涉仪处于同一光路上的平面反射系统；待测光学系统置于干涉仪和平面反射系统之间；其特征在于：所述平面反射系统是液体反射镜；所述干涉仪、待测光学系统以及液体反射镜自上而下依次设置在同一光路上。
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