[实用新型]硅片清洗槽

摘要

本实用新型提供一种硅片清洗槽，包括清洗槽本体和水泵，所述清洗槽本体的侧壁内部成型有腔体，所述腔体内设有垂直隔板，所述垂直隔板将所述腔体隔成内腔和外腔，所述垂直隔板的顶部设有缺口，所述内腔和外腔通过所述缺口连通，所述外腔的底部开设有出水口，所述水泵安装在所述出水口上，所述清洗槽本体的内壁开设有筛孔，所述清洗槽本体的底部开设有排污口，所述排污口上设有阀。本实用新型硅片清洗槽，结构简单，实现对水的循环利用，提高了水利用率，降低了水的浪费，减少了生产成本。

主权项

一种硅片清洗槽，其特征在于：包括清洗槽本体（1）和水泵（6），所述清洗槽本体（1）的侧壁内部成型有腔体，所述腔体内设有垂直隔板（2），所述垂直隔板（2）将所述腔体隔成内腔（32）和外腔（31），所述垂直隔板（2）的顶部设有缺口，所述内腔（32）和外腔（31）通过所述缺口连通，所述外腔（31）的底部开设有出水口（5），所述水泵（6）安装在所述出水口（5）上，所述清洗槽本体（1）的内壁开设有筛孔（4），所述清洗槽本体（1）的底部开设有排污口（7），所述排污口（7）上设有阀（8）。