[实用新型]一种超高纯氨水生产系统有效
| 申请号： | 201320303281.9 | 申请日： | 2013-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN203392870U | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 殷福华;朱龙;邵勇 | 申请（专利权）人： | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C01C1/02 | 分类号： | C01C1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种超高纯氨水生产系统，包括液氨罐、预处理罐、超纯水罐、减压蒸馏装置、半成品罐一、半成品罐二、纯水罐、过滤系统、成品罐。本实用新型通过超纯水罐将超纯水注入预处理罐，液氨经过超纯水进行水洗，可以有效去除金属离子杂质和非金属离子杂质，避免发生二次污染现象，过滤系统采用多级膜循环过滤系统，可以大量去除直径大于0.5μm颗粒物，使其纯度达到PPT级，满足极大规模集成电路生产工艺，使其国产化、本土化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 氨水 生产 系统 | ||
【主权项】：
一种超高纯氨水生产系统，其特征在于：包括液氨罐、预处理罐、超纯水罐、减压蒸馏装置、半成品罐一、半成品罐二、纯水罐、过滤系统、成品罐，所述液氨罐连接在预处理罐中部，超纯水罐连接在预处理罐上方，预处理罐连接减压蒸馏装置，减压蒸馏装置连接半成品罐一，半成品罐一连接半成品罐二，半成品罐二上方连接纯水罐，半成品罐二下部连接过滤装置，过滤系统连接成品罐。
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